JK-VRP300高溫真空熱壓機
產品分類: 熱壓機
JK-VRP300高溫真空熱壓機JK-VRP300是一款高溫真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理最大樣品尺寸為 300mm*300mm*70mm。儀器最高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為30T。 基本參數電源:AC220V , 50Hz ,總功率:約 4.5KW 兩塊 300mm *300mm 加熱平臺,采用耐熱模具鋼制成,最高可承受溫度為 500℃加熱管布置在上
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JK-VRP300是一款高溫真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理最大樣品尺寸為 300mm*300mm*70mm。儀器最高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為30T。
基本參數 | 電源:AC220V , 50Hz ,總功率:約 4.5KW 兩塊 300mm *300mm 加熱平臺,采用耐熱模具鋼制成,最高可承受溫度為 500℃ 加熱管布置在上下加熱平臺的內部,以達到快速加熱的效果 兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設置 18 段升降溫程序 |
上下加熱平臺和真空腔體 | 上下加熱平臺都安裝在真空腔體內,上下加熱平臺尺寸:300*300mm 上下加熱板平面度<0.02mm(在有效面積 300mm*300mm 范圍內) 真空腔體采用 304 不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態下腔體變形), 真空度可以達到 10 -1Pa。 可放入樣品最大尺寸:300mm*300mm*70mm 一個數顯真空計 腔體設有一個φ6.35 的卡套接頭作為進氣口使用,并通過一個電磁閥控制進氣 的通斷 腔體側面有一個φ8mm 寶塔氣嘴的出氣口,通過一個電磁閥控制出氣的通斷 腔體側面有一個 KF25 的抽真空接口,方便客戶匹配各種型號的真空系統 |
溫控系統 |
兩個精密的溫控系統可設置 18 段升降溫程序,控溫精度為±1℃,500 度恒溫 時的溫度波動±5℃,分別獨立控制兩個加熱平臺。
溫控系統采用 PID 方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護。 最高工作溫度為:500℃(<30min) |
壓力控制系統 | 最大壓力:30T 加壓方式:電動加壓 壓力精度:0.01 噸 油缸直徑為 Φ80 mm; 油缸行程為 0-70 mm; |
真空泵 | 抽氣速率:8(2.2)m3/h(L/S) 極限壓力:氣鎮關 5*10 -2Pa 氣鎮開 10Pa 功率:0.37kw 所需油量:0.6~1.0L 進出氣口:KF25 |
外形尺寸 | 580*680*120mm |
重量 | 約 580Kg |
質保 | 一年質保期,終生維護 特別提示:耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |
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